一种用于定向的运动密封结构

专利摘要:
本实用新型公开了一种用于定向的运动密封结构，在旋转运动和升降运动的过程中保证真空度不受影响，包括波纹管、磁流体装置、盖板、润滑轴承、轴承座和安装法兰等零部件，其中盖板安装在定向装置的安装法兰上，轴承嵌入轴承座固定于盖板的上方，盖板下方与波纹管的上法兰连接，磁流体装置从波纹管的内部空心穿过，其外壳法兰与波纹管的下法兰连接，通过O型密封圈保证连接处的密封，通过波纹管实现升降运动的密封，通过磁流体装置实现旋转运动的密封；本实用新型结构紧凑，节省安装空间，在优化密封性能的同时提高了使用寿命。
公开号:CN214331475U
申请号:CN202022305300.4U
申请日:2020-10-14
公开日:2021-10-01
发明作者:杜佳伟；王于岳；朱高伟
申请人:Beijing Scintillation Section Zhongkexin Electronic Equipment Co ltd；
IPC主号:F16J15-18

专利说明:
[n0001] 本实用新型涉及集成电路和器件的制造领域，即离子注入机，更具体地讲，涉及一种用于定向的运动密封结构。
[n0002] 当今国内外的集成电路行业发展势头迅猛，离子注入工艺更是集成电路制造中至关重要的技术，一些先进的半导体生产需要多达几十步的注入工序，在每次的注入工序中，硅片首先需要经过定向装置，在发射光源强度不变的情况下，根据接受光源强度的变化，精确找到硅片的缺口位置。在定向过程中，定向装置需要先将硅片从机械手中顶起，再带动硅片做旋转，由于离子注入工序对环境真空度的要求较高，因此在完成升降和旋转运动的同时，需要严格保证机台的真空度。目前，定向装置的运动密封多采用弹簧密封圈的方式，弹簧密封圈保持不动，穿过密封圈的轴完成升降和旋转的动作。在这种运动密封形式中，弹簧密封圈的内圈弹簧会出现弹性疲劳的状况，受到径向力容易发生不可恢复的变形，并且密封圈与轴直接接触，在轴的运动过程中，轴和密封圈不可避免的产生磨损，导致该形式的密封稳定性和寿命较差。因此，如何提高运动密封的效果、延长使用寿命是设计运动密封结构要解决的主要问题。
[n0003] 为解决定向过程中密封效果和使用寿命的问题，本实用新型提供了一种用于定向的运动密封结构，波纹管可以实现升降运动的密封，磁流体装置可以实现旋转运动的密封，将磁流体装置安放于波纹管的空心处，节省空间，在运动过程中保证密封效果。
[n0004] 一种用于定向的运动密封结构，所述运动密封结构包括波纹管、磁流体装置、盖板、润滑轴承、轴承座和安装法兰。
[n0005] 所述盖板固定于所述安装法兰，所述波纹管穿过所述安装法兰的圆形贯穿孔，其上法兰与所述盖板连接，通过橡胶密封圈实现密封。
[n0006] 所述波纹管套装在所述磁流体装置的外部，所述磁流体装置位于所述波纹管的空心处，所述磁流体装置的外壳法兰与所述波纹管的下法兰连接，中间装有橡胶密封圈实现密封。
[n0007] 所述转动轴上部穿过所述润滑轴承，所述润滑轴承嵌入到所述轴承座中，所述轴承座固定在所述盖板上方。
[n0008] 本实用新型技术方案，具有如下优点：
[n0009] A．将磁流体置于波纹管内部的空心处，结构紧凑，节省空间。
[n0010] B．波纹管和磁流体装置技术成熟，密封效果好，且属于半永久性密封，在规范使用的情况下，使用寿命较长。
[n0011] 图1为本实用新型所提供的一种用于定向的运动密封结构示意图，
[n0012] 图2为本实用新型所提供的一种用于定向的运动密封结构外形图，
[n0013] 其中，附图标记对应关系为：
[n0014] 1-波纹管、2-磁流体装置、3-盖板、4-润滑轴承、5-轴承座和6-安装法兰；
[n0015] 21-转动轴、22-外壳法兰。
[n0016] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[n0017] 如图1所示，本实用新型提供了一种用于定向的运动密封结构，该运动密封结构主要包括波纹管1、磁流体装置2、盖板3、润滑轴承4、轴承座5和安装法兰6。
[n0018] 盖板3固定在安装法兰6上方，波纹管1穿过安装法兰6的圆形贯穿孔，其上法兰与盖板3连接后固定不动，通过橡胶密封圈实现密封。
[n0019] 磁流体装置2的圆柱体部分穿过波纹管1，使磁流体装置2位于波纹管1的空心处，合理利用空间，结构更紧凑，中间装有橡胶密封圈实现密封。磁流体装置2的外壳法兰22与波纹管1的下法兰连接固定，波纹管1收缩或拉伸时，上法兰固定不动，下法兰可以带动磁流体装置2完成升降运动。
[n0020] 润滑轴承4嵌入到轴承座5中，轴承座5与盖板3贴合紧固后，将润滑轴承4固定在槽中，磁流体装置2的转动轴21上部穿过润滑轴承4，该轴承可以承受径向载荷，提高运动精度。
[n0021] 以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

权利要求:
Claims (3)
[0001] 1.一种用于定向的运动密封结构，其特征在于：所述运动密封结构包括波纹管（1）、磁流体装置（2）、盖板（3）、润滑轴承（4）、轴承座（5）和安装法兰（6），所述波纹管（1）套装在所述磁流体装置（2）的外部，所述磁流体装置（2）位于所述波纹管（1）的空心处；所述磁流体装置（2）的外壳法兰（22）与所述波纹管（1）的下法兰连接，中间装有橡胶密封圈实现密封。
[0002] 2.如权利要求1所述的一种用于定向的运动密封结构，其特征在于：所述盖板（3）固定于所述安装法兰（6），所述波纹管（1）穿过所述安装法兰（6）的圆形贯穿孔，其上法兰与所述盖板（3）连接，通过橡胶密封圈实现密封。
[0003] 3.如权利要求1所述的一种用于定向的运动密封结构，其特征在于：所述磁流体装置（2）的转动轴（21）上部穿过所述润滑轴承（4），所述润滑轴承（4）嵌入到所述轴承座（5）中，所述轴承座（5）固定于所述盖板（3）上方。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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